一种外延片制备方法、外延片及发光二极管与流程技术资料下载

技术编号:30835338

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.本发明涉及光电技术领域,特别涉及一种外延片制备方法、外延片及发光二极管。背景技术.四元系algainp(磷化铝镓铟)是一种具有直接跃迁宽带隙的半导体材料,已广泛应用于多种光电子器件的制备。由于此材料发光波段可以覆盖可见光的红光到黄绿光波段,由此制成的可见光高亮度发光二极管(led)受到广泛关注。四元系algainp高亮度发光二极管已大量应用于户外显示、交通灯、汽车用灯、指示灯等许多方面。.由于algainp与gaas(砷化镓)之间的晶格匹配度较好,通常选用gaas作为外延衬底材料,但是g...
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