一种化学气相沉积涂层反应气体预热室的制作方法技术资料下载

技术编号:30888038

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.本实用新型涉及数控刀片涂层生产技术领域,具体是一种化学气相沉积涂层反应气体预热室。背景技术.涂层技术广泛应用于硬质合金数控刀具,其中化学气相沉积法是广泛使用的刀具涂层技术,其中在刀具上涂覆涂层的过程在热室中完成,其加工原理是将刀具置于反应室中,反应室内所充满的含有薄膜元素的一种或几种气相化合物、单质气体进行化学反应,在刀具表面上沉积生成一定厚度、具有所需特性的固体薄膜。.在涂层加工时,需要对气体进行预热,现有的预热室结构存在以下问题;.、现有预热室装配密封性不好:气体进入预热室后,因...
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