技术编号:30954590
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本文描述的创新方案涉及一种布置在半导体衬底上的基于晶体管的应力传感器。该基于晶体管的应力传感器用于确定作用在半导体衬底上的机械应力分量。由于基于晶体管的应力传感器内的各个晶体管具有本文描述的创新布置,可以完全或至少部分地补偿可能影响确定应力分量的参量梯度。因此,本文描述的基于晶体管的应力传感器能够实现对机械应力分量的梯度补偿的确定。本文描述的创新方案还涉及一种用于借助这种基于晶体管的应力传感器来梯度补偿地求取机械应力分量的方法。背景技术.应力传感器被设计成求取机械应力分量,例如机械剪应力、...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。