一种低温键合方法、柔性基压电微能量收集装置及系统技术资料下载

技术编号:30963879

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.本发明涉及微电子能量收集技术领域,具体涉及一种低温键合方法、柔性基压电微能量收集装置及系统。背景技术.近年来,随着低功耗无线传输技术的日趋成熟,各式微型传感器、嵌入式系统以及无线传感网络等得以迅猛发展,微型电子器件的耗电量也已降低到微瓦量级。而传统的电池供电方式存在占用体积大、使用寿命短、存储能量有限、污染环境等不足,因此如何为微型电子器件长期稳定供电是目前需要攻克的技术难题。目前已经发展起来了能量收集技术,即从环境中收集能量并转换为电能实现无线传感节点的自供电;如常见的振动能量收集器是一...
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