技术编号:31024151
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及cvd气相沉积炉技术领域,尤其是涉及一种气体混合装置。背景技术.气体在通入气相沉积炉之前,需要对气体进行混合,传统气体混合方式为将混合所用的气体由各自的管道通入混合罐内,按照混合要求对不同气体的量分别采用气体流量计进行精确控制其进入量。.本申请人发现现有技术中至少存在以下技术问题:由于不同气体用量不同和气体本身性质差异导致不同气体流速和扩散速度有差别,难以实现混合气体中不同气体的浓度均匀分布,从而影响后续工艺效果。发明内容.本发明的目的在于提供一种气体混合装置,以解决现有技术...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。