技术编号：31044286
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及除尘装置技术领域，特别是一种单晶硅生产用除尘器。背景技术.单晶硅在生产过程中会产生大量有害粉尘，如果不去除，会对人员和环境造成一定的危害，同时也影响单晶硅的生产效率，这就需要配置相应的除尘设备，由于除尘器安装在单晶炉真空管道中，也就对设备的振动提出了要求，不能影响真空管道的压力。而且单晶硅生产中产生粉尘粒度小、粘度大、具有可燃性的特点，目前市场常见的除尘器均不能较好的达到使用要求。实用新型内容.为解决上述问题，本实用新型一种单晶硅生产用除尘器，其可在单晶硅生产过程中对单晶硅...
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