技术编号：31149475
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明实施例涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种掩模版预对准系统和方法、张网设备。背景技术.在半导体工艺设备中，掩模版预对准系统为其中一个重要的系统。.掩模版预对准系统中，传输机械手把金属薄膜传送到张网设备的夹爪交接位，夹爪将其传送到工件台。在夹爪对金属薄膜进行搬运前，需要预对准装置对金属薄膜进行补偿，才能保证预对准系统的对准精度。.通常，在经过掩模版预对准系统对掩模版的预对准之后，将掩模版传输至张网设备的工作台。然而，现有预对准系统大多难以保证对掩模版的预对准精度，导致张网精度较...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。