技术编号：31319934
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及石墨夹头领域，具体而言，涉及一种多晶还原炉生产用石墨夹头。背景技术.多晶硅是生产太阳能光伏电池和半导体晶圆的基本原料，目前主流的生产工艺是改良西门子法，通过化学气相沉积法在高温真空炉中还原三氯氢硅，最后得到高纯度的原料多晶硅，沉积过程中需要将硅芯用夹具固定，在高温情况下，石墨的硬度极高，且导电性强，因此常常使用到石墨夹头对硅芯进行固定，但是现有的多晶还原炉生产用石墨夹头，通常直接将硅芯插入石墨夹头的插孔内，缺少其他辅助固定结构，导致硅芯会产生晃动，降低了实用性。实用新型内容.为...
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