技术编号：31324840
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种用于icp-ms的阀门装置及真空系统技术领域.本实用新型涉及真空仪器，尤其是涉及一种用于icp-ms的阀门装置及真空系统。背景技术.电感耦合等离子质谱(icp-ms)法由于其具有检出限低、准确度高、线性范围宽且多种元素同时测定等优点，与其他技术相比，显示了较强的竞争力，应用越来越广泛。同时，各生产厂家对icp-ms仪器的生产制造过程，愈加精益求精。.icp-ms采用一种称为“差压抽气”的技术，通过几个分立的真空级使压力逐渐降至要求的值。因此，用这种方式时，仪器需将不同的真空区域隔开，每...
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