技术编号:31360729
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于薄膜领域,具体涉及一种无衬底支撑薄膜的制备方法及其无机化合物薄膜。背景技术.悬空无衬底支撑薄膜,即在使用过程中特定区域悬空,没有衬底支撑的薄膜。无机化合物薄膜材料由于厚度非常薄(nm~nm),通常都必须沉积在某种衬底上的,衬底对薄膜材料起支撑作用。但是正因如此,薄膜会受到来自衬底的束缚作用,在薄膜内部产生应力。当研究薄膜材料的物理性质,尤其是热力学性质的时候,都会受到衬底的影响,而不能测量得到薄膜的本征物理性质。虽然现在有技术能够实现sinx、sio薄膜的悬空制备,但是...
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