技术编号：31395925
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种调焦装置，尤其是一种应用于激光直写领域的调焦装置。背景技术.现有激光直写成像曝光系统，采用一组或多组镜头在基底上曝光，为保证多组镜头曝光线条或图像具有高的解析度和一致性，需要手动调整每一个镜头焦面，使得一组或者多组镜头均处于最佳的焦面位置。这种操作方式繁琐且焦面精度较难保证，直接限制了曝光系统的解析度。尤其是对于高精度光刻镜头，其焦深较小，基底的平整度无法满足高精度光刻的条件，需要通过对镜头调焦实现焦面的校准。.现有的镜头调焦方式是在镜头下方设置调焦装置，采用上下两个楔形棱...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。