技术编号:31409937
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本公开涉及到半导体技术领域,尤其涉及到半导体器件、电子设备及制备方法。背景技术.动态随机存储器(dram,dynamic random access memory)是一种常用的半导体存储器件,由许多重复的存储单元组成。每个存储单元通常包括一个电容器和一个晶体管。晶体管的栅极与字线相连、漏极或源极与位线或电容器相连,字线上的电压信息号能够控制晶体管的打开或关闭,进而通过位线读取在电容器中的数据信息,或者通过位线将数据信息写入电容器中进行存储。通常为了缩小器件尺寸,会在阵列排布的有源区设置纵横...
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