技术编号:31411448
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明特别涉及一种超级结绝缘栅双极型晶体管,属于晶体管技术领域。背景技术.超级结igbt作为新一代高速igbt设计技术,其优异的电学性能已经获得实验验证。本案发明人提供的一种超级结igbt的器件结构图所示,其中,是p-集电区,是n-漂移区,是p型超级结区,是外延层,是栅氧化层,是栅极,是p阱区,是n发射极,是介质层,是发射极金属,是p集电极,是集电极金属,受制于双极性器件电导调制效应,超级结igbt在关断过程中存在电流拖尾问题,而电流拖尾会导致器件具有较...
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