技术编号:31425030
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及研磨领域,尤其是涉及一种研磨液供给系统。背景技术.双面研磨机在研磨过程中需要使用研磨液,通过化学机械研磨的方式,去除晶圆多余的部分,使晶圆达到目标要求的厚度。现有的双面研磨供液方式是厂务集中供应,研磨液从厂务端通过管路输送到双面研磨机的研磨桶内,再从研磨桶通过蠕动泵供给研磨机。.然而在实际工作过程中,研磨液在静止状态下会有少许沉淀,需适当的打开研磨桶内的搅拌机,当搅拌机打开的同时,研磨桶内研磨液的温度会升高,超出工艺允许的范围,因此如何保证研磨桶内的研磨液的温度处于工艺允许...
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