技术编号:31439048
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本公开涉及包括基板移送部的真空设备,更具体而言涉及在内部具备可排出完成品的基板移送部的真空设备。背景技术.作为平板显示装置,公知有液晶显示装置(liquid crystal display:lcd)、等离子显示装置(plasma display panel:pdp)、有机发光显示装置(organic light emitting diode device:oled device)、场效应显示装置(field effect display:fed)、电泳显示装置(electrophoreti...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。