技术编号:31462260
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及太阳能光伏发电技术领域,具体而言,涉及一种电池片载具。背景技术.随着半导体设备行业数十年来的技术积累,光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造设备的整线装备能力,太阳能电池背钝化设备也已广泛引用于企业生产中。目前,行业中为了最求更高效稳定效率,大多采用沉积设备作为氧化铝背钝化机台,金属铝舟也被广泛用于沉积设备中的工艺载具。.金属铝舟作为电池片的载体,需要多次跟随电池片共同进入机台进行各种工艺。随着金属铝舟在工艺腔内反复使用,金属铝舟表面生成的氧化铝越来越厚,金属铝舟的舟齿位置的氧化...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。