技术编号:31485024
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种mems外壳的专用喷砂工装技术领域.本实用新型涉及喷砂工装技术领域,具体涉及一种mems外壳的专用喷砂工装。背景技术.随着国产半导体行业的不断兴起,相关技术产品的缺口也越来越大,mems传感器便是其中的一个类别,其广泛应用于医疗、通讯、汽车电子、 c电子的多个领域。半导体产品的技术要求是非常严格的,公差都是微米级,对于精密度的把控也成为了半导体零部件生产的重中之重。.现在mems外壳使用吸入式干喷砂机进行表面处理,以压缩空气为动力,通过气流的高速运动在喷枪内形成的负压,将磨料通过输砂...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。