技术编号:31488073
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及半导体加工设备技术领域,尤其涉及一种硅料加热载具。背景技术.为了防止金属对硅料产生污染,现有硅料加热和水爆载具都是采用石英材质。然而石英材质本身价格较高,导致载具制备成本高昂,并且石英的脆性较高,硅料自重又较大,在使用过程中极易造成石英载具破碎。此外由于石英的脆性,很难加工成特定结构,因此现有载具结构大多数为平面结构,硅料在载具中只能简单堆叠,自动化夹具难以对堆叠的硅料进行抓取,需要人工进行辅助。实用新型内容.本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种结构简单...
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