技术编号：31531803
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种高加工容错率的多环谐振式mems陀螺技术领域.本发明涉及一种谐振式mems陀螺，特别是一种高加工容错率的多环谐振式mems陀螺。背景技术.陀螺仪是一种用来感知载体旋转的传感器，在导航制导、工业机器人、手势识别、光学防抖、d游戏等领域得到了广泛的应用。目前投入使用的高精度陀螺主要包括机械转子陀螺、激光陀螺和半球谐振陀螺等，这些陀螺优点在于精度高，但体积大、功耗高、工艺复杂和制造成本高的劣势限制了其在更小的载体中的应用。基于微机电系统(micro-electro-mechanical sy...
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