技术编号:31569620
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及统计方法和处理装置。背景技术.例如专利文献中公开了一种半导体制造装置,其具有:存储单元,其存储表示基片的处理状态的处理日志数据;和显示控制单元,其显示关于处理日志数据的图表。专利文献的半导体制造装置所具有的显示图表的显示控制装置具有:显示轴的处理日志数据的图表的轴图表显示单元;和显示轴的处理日志数据的图表的轴图表显示单元。.现有技术文献.专利文献.专利文献:日本特开-号公报。发明内容.发明要解决的问题.本发明提供使每个处理装置所使用的消...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
请注意,此类技术没有源代码,用于学习研究技术思路。