一种动力电池检测用氢气MEMS传感器及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:31602650

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一种动力电池检测用氢气mems传感器及其制备方法技术领域.本发明涉及微纳传感应用技术领域,具体涉及一种动力电池检测用氢气mems传感器及其制备方法。背景技术.随着电池行业的迅速发展,电池种类和应用场景也在发生飞速变化。铅酸、磷酸铁锂、锰酸锂等电池体系也越来越多的应用在动力电池领域。而应用的同时也带来了很多挑战,如动力电池发生故障时会产生热失控现象,期间会持续不断的释放出氢气等可燃性气体。当氢气浓度累积到一定程度(%)时会造成起火事故。根据公开资料的不完全统计显示,仅在年~月间,...
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