技术编号:31617348
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及半导体材料载流子迁移率测试装置领域,尤其涉及一种基于飞行时间法的材料载流子迁移率测试装置。背景技术.载流子迁移率是反映半导体材料导电性能的重要参数,同样的掺杂浓度,载流子的迁移率越大,半导体材料的导电率越高。利用激光器产生载流子,在恒定电场的作用下,载流子定向移动,表现为电流的变化,这瞬态响应中蕴含了载流子的迁移时间,综合材料厚度、电场强度及迁移时间即可得到载流子迁移率。.现有技术的测试装置结构复杂,测试麻烦,且测试结果不准确,影响测试质量。实用新型内容.本实用新型的主要...
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