技术编号：31620403
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种用于oht灵活取电的装置技术领域.本实用新型属于天车技术领域，特别是一种用于oht灵活取电的装置。背景技术.半导体领域内，晶圆厂普遍使用自动物料传输系统(amhs)来提高工厂自动化程度。空中自动物料搬运天车(oht)简称小车,是自动物料传输系统(amhs)中重要的子系统，主要是应用在轨道的运行中，负责搬运晶圆料盒(foup)至不同的工艺设备或仓储设备。.oht在安装完成后，oht运行的轨道的间距是一定的，导致oht的取电装置的安装空间较小，在取电装置的安装过程中，需要确保oht上的元件...
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