技术编号：31673772
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及光学器件打包技术领域，特别涉及一种光学掩模运输盒。背景技术.在微电子等需要光刻图形工艺的领域中，光学掩模是不可少的工具。现有光学掩模的收纳包装盒，例如公开号为cnu的中国专利，其是在盒内设置局部的支撑结构，以对光学掩模的表面进行接触支撑。虽然光学掩模用于支撑的接触面一般不会设有图形结构，但是光学掩模的可利用面积被减少了。此外，在拿取光学掩模时，光学掩模的表面可能会与支撑结构发生碰撞、摩擦，损伤表面的图形结构膜层。实用新型内容.本实用新型旨在至少解决现有技术...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。