技术编号：31750564
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及微纳光学设备及半导体设备技术领域，具体而言，涉及一种扩膜解胶一体机。背景技术.目前微纳光学行业和半导体行业内，原材料通常为一大块镜片或晶圆，需要经过将晶圆切割裂片后分成多个小块晶圆，为方便后续生产工序，需要对晶圆进行扩膜和解胶。现有扩膜和解胶为分开的两个工序，生产时需要两台设备，人力成本和设备成本投入较多，并且存在人员漏工序风险，同时扩膜机台多为手动扩膜，作业费时费力，自动化程度低，人工成本高。.也就是说，现有技术中扩膜解胶存在自动化程度低的问题。实用新型内容.本实用新型...
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