技术编号:31760559
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及半导体设备技术领域,具体为一种耐腐蚀的化学处理放置框。背景技术.随着社会经济的快速发展,在半导体设备腔室内部中会用到各种类型的设备部件,按照结构区分有圆环形部件、圆盘形部件,按照材质区分有铝、不锈钢、钛、石英、陶瓷等,而半导体设备腔室内部的部件在维护保养过程中需要进行良好的防护,避免划伤、碰撞等问题的产生。.但是,现有的半导体设备部件维护时使用的化学处理放置框耐腐蚀性能较差,且不方便进行组装;因此,不满足现有的需求,对此我们提出了一种耐腐蚀的化学处理放置框。实用新型内容....
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。