技术编号:31830720
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于电子混合气技术领域,具体涉及一种超纯混合气自动配气系统。背景技术.随着半导体产业快速、深入发展,对混合气的需求不断增加,也对混合气纯度、组分精确度的要求不断提高。如此,需不断提升混合气的配气充装技术。目前“重量法”是业内公认能够实现精确配气的方法,自动化配气也是发展趋势。随着需求量不断增加,原材料价格也不断上涨,目前在充装过程中残气的回收利用率低,导致了生产成本增加,出现浪费的情况。为此,我们需要设计一种超纯混合气自动配气系统来解决上述问题。实用新型内容.本实用新型所要解决...
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