技术编号：31832616
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种多功能集成化的mems传感器系统技术领域.本发明属于射频微机电系统传感器技术领域，具体提供一种基于微机电技术的多功能集成化的多功能传感器系统。背景技术.微机电系统(micro-eletro-mechanical systems,mems)是一种将微型机械结构与电路集成的器件和系统，具有小型化、轻量化以及高度集成化的特点，广泛应用于航空航天、信息通信、生物化学、医疗、自动控制、消费电子等领域。mems谐振器是mems技术在射频领域的关键应用，与传统石英晶体谐振器相比，mems谐振器具有重量...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。