一种多功能集成化的MEMS传感器系统的制作方法技术资料下载

技术编号:31832616

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一种多功能集成化的mems传感器系统技术领域.本发明属于射频微机电系统传感器技术领域,具体提供一种基于微机电技术的多功能集成化的多功能传感器系统。背景技术.微机电系统(micro-eletro-mechanical systems,mems)是一种将微型机械结构与电路集成的器件和系统,具有小型化、轻量化以及高度集成化的特点,广泛应用于航空航天、信息通信、生物化学、医疗、自动控制、消费电子等领域。mems谐振器是mems技术在射频领域的关键应用,与传统石英晶体谐振器相比,mems谐振器具有重量...
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