技术编号:31864528
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于活性材料微米尺度增材制造领域,具体涉及一种适用于活性易氧化材料的飞秒激光纯净增材装置。背景技术.微米尺度的增材是近年来出现的一种新型微米级加工技术,该技术可以精度达微米级别的结构或者具有微米级结构的功能性产品。与传统的微挤出机、微热压、激光蚀刻等微纳米加工不同,微米尺度的增材没有模型和材料的局限性,并且具有高精度、高质量、高度自动化、低成本等优点。广泛应用于微集成电路、微传感器、生物医疗芯片等诸多领域。.但是现有的微米尺度的增材方式的成本高、工序复杂且不易于活性易氧化材料的增材...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。