技术编号：31884251
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及石墨热场技术领域，特别是石墨热场挡气环及石墨热场。背景技术.单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质。硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅。单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，单晶硅在进行生产时需要使用石墨热场，石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。在单晶硅生长炉中主要设备为石墨热场，石墨热场主要是由坩埚组成，在进行单...
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