波分复用滤光片及其生产方法技术资料下载

技术编号:31885736

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.本发明涉及波分复用滤光片领域,尤其涉及高精度光学涂层材料用于光学器材领域。背景技术.cn.公开了一种用于光通信的纳米通带滤光片,包括基板、以交替的五氧化二钽和二氧化硅为镀膜材料的第一镀膜层与第二镀膜层,所述基板位于所述第一镀膜层和第二镀膜层之间;第一镀膜层由内而外依次由五氧化二钽层与二氧化硅层交替沉积共层,其中包括层五氧化二钽层与层二氧化硅层;第二镀膜层由内而外依次由五氧化二钽层与二氧化硅层交替沉积共层,其中包括层五氧化二钽层与层二...
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