技术编号:31937876
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及智慧产线领域,且更为具体地,涉及一种电子级三氟化氯的智能分离纯化系统。背景技术.三氟化氯是一种氧化性极强的芯片刻蚀清洗剂。目前国际上能制备电子级三氟化氯的厂商极少,国内仅有申请人具有制备电子级三氟化氯的能力。这是由于三氟化氯极易与氟化氢缔合形成具有特殊分子间力的多聚合物,传统的分离方法无法彻底解决多聚合物的分离问题,这就是制备电子级三氟化氯的关键性技术难题。.因此,研发一种电子级三氟化氯的智能分离纯化方案至关重要。发明内容.为了解决上述技术问题,提出了本申请。本申请的实施例提...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。