一种硅外延炉冷却水流量预警装置的制作方法技术资料下载

技术编号:31984526

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.本实用新型涉及lpe机台冷却水流量控制技术领域,具体涉及一种硅外延炉冷却水流量预警装置。背景技术.目前lpe外延设备,设备运行过程中的冷却方式为,利用水泵运转产生水流对设备反应腔进行冷却。由于外延工艺要求在~℃,反应温度高,冷却水非常重要,设备需要实时监控冷却水流量,确保反应腔温度稳定。在设备运行的过程中,会出现冷却水流量报警停机,但是工程师去现场检查时发现设备冷却水流量正常,并未出现流量过低的状况。.为了改善冷却水流量报警现象,监控机台冷却水流量侦测器运行...
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