技术编号:32073986
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及射频微机电系统领域,特别涉及一种微机电声波谐振器。背景技术.射频微机电系统(micro-electro-mechanical systems,mems)技术是一种新兴的快速发展的技术,它广泛地应用于提高无线通信系统的性能和集成度。对于无线通信系统而言,其前端即发射通路和接收通路处理的是射频信号,其电路尺寸必须与信号的波长相当。为了使射频前端小型化,近年来广泛地采用了基于射频rf(radio frequency)-mems工艺的声学器件,其工作原理是将电磁波信号转换为机械波信号,由...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。