技术编号：32088436
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及一种无掩模光刻机，特别是一种无掩模光刻机平台滑触式排线结构。背景技术.无掩模光刻机已经广泛应用于集成电路的线路曝光、阻焊等，部分已应用于晶圆级封装、芯片封装等领域。目前现有的光刻机的移动平台通过高精密度的导轨安装于底座上，移动平台底部采用拖链的方式包裹电线、气管(用于抽真空平台的底部吸附线路板/晶圆/芯片等需要曝光的板)等随着移动平台一起移动，移动平台前后运动的过程中会导致拖链的振动，从而带动平台振动，影响扫描光刻的精度，尤其是微米级别的解析甚至未来纳米级别的解析，拖链的振动...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。