技术编号：32156005
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明总体上涉及衬底处理装置及方法。更具体但非排他地，本发明涉及化学沉积反应器或蚀刻反应器。背景技术.在不承认本文描述的任何技术代表现有技术的情况下，本节示出了有用的背景信息。.在化学沉积反应器或蚀刻反应器中，可以通过装载机器人经由闸阀从侧面执行将衬底装载到反应室中的操作。然而，该装载方法和本领域中使用的所有相关联的衬底处理方法对工具设计造成了一定的空间限制。具体地，这些限制可以在反应器的可能设计中观察到。这些限制经常体现在将衬底接收表面配置在反应器内的合适水平处以在发生充分反应的同时为...
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