技术编号:32160976
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及元器件测量分析领域,尤其涉及一种元器件样品制备方法。背景技术.破坏性物理分析(destructive physical analysis,dpa)是在元器件的生产批次中随机抽取适当数量的样品,对样品进行无损分析或有损分析,从而检验元器件的结构、材料、制造质量等是否满足预设用途及相关规范要求。目前,破坏性物理分析实验中制备元器件样品通常包括:将样品放置于一个平整的平面上,将模具置于平面上将样品包围,向模具内注入胶体以将样品进行固定,将胶体固化后形成的固化体进行脱模,对固化体固定有样...
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