技术编号:32168786
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种低导通电阻分离栅mosfet芯片及其制造方法技术领域.本发明涉及金属-氧化物半导体场效应晶体管,尤其涉及一种低导通电阻分离栅mosfet芯片及其制造方法。背景技术.mosfet(metal-oxide-semiconductor field-effect transistor,金属-氧化物半导体场效应晶体管)产品技术经过多年的积累和发展,在功率半导体中比重越来越高,应用越来越广泛。相应的对于mosfet产品的性能要求越来越高。特别是对mosfet的导通电阻(rds(on))要求越低越好,...
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