调节装置及具有其的成像系统的制作方法技术资料下载

技术编号:32242859

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.本实用新型涉及调节装置技术领域,具体地,涉及一种调节装置及具有其的成像系统。背景技术.随着科技水平的发展,调节装置作为一种对目标物体进行精密调整的装置,被越来越多的应用于生产生活中。以半导体技术领域为例,在进行产品良率管理时,需要成像系统对产品进行外观缺陷的检测。成像系统的成像装置具备宏观和微观的检测能力,为保证检测的准确性,检测时需要对成像装置的位置进行调节,以使成像装置正对待检产品。.现有技术通常采用调节装置对成像装置进行调节,调节装置包括旋转电机和与旋转电机的输出轴固定连接的旋转板...
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