技术编号：32277594
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于气浮运动平台技术领域，特别涉及一种单轴气浮旋转运动平台。背景技术.气浮运动平台是精密机械中的关键部件之一，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、ic封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供一个能够实现精密定位和精确运动的载物平台；应用较多的要数在先进的电子制造设备，比如光刻机贴片机等，高性能的运动平台是其工作的主要机构。.现有的气浮运动平台多为直线运动平台，运用于旋转运动平台时，多为设置轴承抵消旋转的向心力，虽然减少了平台的旋转摩擦力，增加了控制精度，但是这方面的能力还有待进一步...
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