技术编号:32283137
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及平面度测量技术领域,具体为一种测量直径可调的平面度测试装置。背景技术.随着光学材料应用的日益发展,光学材料已广泛用于通信、传感、图像传输、激光等领域,且对这些光学材料的要求越来越高,不仅要求极高的平面度,极小的表面粗糙度,而且要求表面无变质层,无划伤。光学材料的研磨和抛光工艺和设备对这些行业的发展起关键作用。.目前的技术现状是对于大尺寸(直径≥mm)的光学材料加工样品,研磨后测平面度是用装有千分表的工装测量;对于小尺寸(直径<mm)的光学材料加工样品,传统的方法...
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