技术编号：32293392
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及蒸发料的技术领域，特别是涉及一种异型金靶加工工艺。背景技术.金靶为用于电子芯片镀层的高纯度贵金属，金靶的尺寸和外观质量尤为重要，产品表面应清洁，不应有拉伸润滑痕迹、油污、黑斑等，加工时需要使用化学用品对表面进行清洁处理，但是由于化学药品的挥发，容易对环境产生污染。.现有技术中， cn a公开了钛蒸发料的制备方法和钛蒸发料，通过对原料钛进行预处理、酸洗、研磨及后处理，获得了钛蒸发料，通过优化酸洗和研磨参数，制备出符合要求的高纯钛蒸发料，但是其酸洗和研磨时，容易...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。