技术编号：32339749
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于精密/超精密加工领域，涉及一种微细结构的抛光方法及装置，尤其涉及一种微细结构仿形工具抛光方法及装置。背景技术.微细结构表面由于具有传统表面所不具备的特性和功能，已在国防、光学、微流体以及表面工程等领域被广泛应用。对于微细结构来说，面形精度和表面质量是两个关键要素，面形决定其功能，表面质量影响其性能。在国防、光学、微流体等领域核心零件的上微细结构往往需要达到亚微米级面形精度以及纳米/亚纳米表面粗糙度且无表面/亚表面损伤。因此，如何实现微细结构高效，高精度，高表面质量的制造成了一个首...
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