技术编号：32352253
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为一种光刻机的送料装置。背景技术.光刻机最核心的部件之一是紫外光源，硅片的光刻也是主要通过紫外光实现，由于紫外光容易对人体造成损害，光刻机外通常设有防护板和防护柜，光刻的过程通常在防护柜内进行；.一般的光刻机通常在每次检测前都需要打开柜门以放入原料，再关上柜门进行光刻操作，在光刻操作完成后需要重新打开柜门，取出已光刻好的硅片，再将待光刻的原料放入，并重复以上操作，操作麻烦，送料费时费力，不便于快速进行送料使用。实用新型内容.本实用新型的目的在于提供一种...
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