技术编号:32373350
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及汽化器技术领域,尤其涉及一种用于电子特气的汽化器及电子特气汽化系统。背景技术.电子特气是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体,广泛应用于半导体生产的各个工艺流程,从单个芯片生成到最后器件的封装,几乎每个环节都离不开电子气体。在半导体芯片制造领域,由于芯片制作技术已经发展到纳米级别,所以电子特气的纯度也必须在ppt以上,同时还要求将金属元素净化到-级至-级。纯度每提升一个n,以及粒子、金属杂质含量浓度每降低一个数量级,都将带来工艺复杂度和难度的显著提...
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