技术编号:32376976
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于集成电路制造技术领域,具体涉及一种闪存器件的制作方法。背景技术.闪存器件以其低成本、低功耗、存取速度快等性能优势,已经在非易失存储器领域占据越来越重要的地位。随着科技的发展,数据存储介质应用也由一些传统的非易失存储器专向闪存型存储器,以闪存为主要存储介质的大容量固态存储设备已经成为当今数据存储的主流方案之一。.通常,闪存器件的存储结构包括层叠在一起的浮栅和控制栅,该浮栅和控制栅之间形成复合介质层。通过向闪存器件的控制栅等电极施加不同的操作电压,实现对该闪存器件的读操作、写操作以...
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