技术编号:32418024
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及半导体制造领域,具体地,涉及一种相位同步装置和方法、射频电源、半导体工艺设备。背景技术.等离子体腔室中的上电极和下电极通过连接头、射频线缆等器件分别与两个射频电源电连接,这两个射频电源根据工艺要求,需要在相同的频率和相位下工作,但是,不同射频电源所连接的线缆长度、连接头等器件往往存在差异,这会导致加载至上、下电极的功率信号的相位有偏差,为此,通常使用相位同步装置实现多个电源的相位同步,具体地,如图所示,多个电源中有一个主电源(master),其余电源为从电源(slave),其中...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。