技术编号：32439750
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及空间电推进溅射沉积领域，特别是涉及一种真空目标靶溅射沉积质量的三维检测设备。背景技术.空间电推力器因其长时间运行的优点，广泛应用于深空探测、长周期的在轨卫星的任务中，通常工作时间长达几千小时至上万小时。由于电推力器的工作原理，不可避免的会发生材料的溅射沉积，即高速离子轰击电推力器内部件材料，将材料轰击而出，从而使长时间运行的电推力器部件发生显著的腐蚀损耗，导致电推力器使用寿命的下降。因此电推力器内的溅射沉积现象是空间电推进的重要研究领域。如在电推力器中主流应用的霍尔推力器与离子推...
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