一种p型透明导电的锡锑氧化物薄膜材料及其制造方法技术资料下载

技术编号:3244361

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本发明涉及一种透明导电的薄膜材料,特别涉及一种P型透明导电的锡锑氧化物薄膜材料及其制造方法。背景技术 透明导电金属氧化物薄膜是一种应用很广的光电材料,在半导体发光器件、有机发光器件、液晶显示器、太阳能电池、智能窗等领域已经得到广泛的应用。由于金属氧化物材料中往往存在大量的氧空位、金属间隙原子以及其他类型的施主型缺陷,目前商品化的透明导电金属氧化物薄膜都是电子导电或者说是N型的,例如掺锑、掺氟的二氧化锡,掺铝、掺铟的氧化锌,铟锡氧化物等。而很多情况下,光电器...
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