技术编号:3245006
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种射频溅射制备(111)织构(Ba,SivJTi(X,介电陶 瓷薄膜的方法,即通过陶瓷靶材,优化工艺参数,制备出单一钙钛矿 相的(111)织构的(Ba,Siv》Ti03介电陶瓷薄膜,制备出的BST薄膜 具有大的高的可调性、介电常数、较低的损耗以及低的漏电流。背景技术自20世纪五十年代以来,钙钛矿型铁电固溶体一直是人们感兴 趣的研究对象。BaTi03是最早发现的一种钙钛矿型铁电体,其特点是 介电常数大、非线性强、有明显的温度、频率依赖性。SrTi...
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